「株式会社東京精密の土浦工場見学会に参加してきました」2

Date:2015/07/03

ジャパンテクノロジーの武田でございます。当ブログをご覧頂きありがとうございます。

今回は、前回に引き続き、クリーンブースやクリーンルームに設置される精密機器として関連性のある株式会社東京精密の土浦工場見学会のレポート「株式会社東京精密の土浦工場見学会に参加してきました」1の続編です。

三次元測定機について勉強させて頂いたことを書いていきたいと思います。

 

東京精密さんは、ドイツのメーカー カールツァイス社と提携しています。

計測物と接触し測定するセンサー部分(プローブ部分)と、ソフトウェアとコントロール部分はカールツァイス社が担当していて、それを正確に保持し動かすための本体やアーム部分の製作と、カールツァイス社が担当する部分の本体への組み込みを、土浦工場で行っているんだそうです。

 

大きな特徴としてご説明いただいたのは、アクティブスキャニング技術についてでした。

ワークに触れて計測する部分であるプローブヘッドに加わる力が、常に一定になるように制御することで、プローブヘッドがくっついているスタイラスのたわみを最小限に抑えることができるんだそうです。

そのため、カタログの仕様では同等の他社製品と比べて、実測での性能でより高い精度を出せるとのことでした。

 

カタログ上の性能と、実測の際の性能に差がでるなんてことを、恥ずかしながらこの日初めて知りました。

差が出る理由は、測定機の精度を求めるとき、基準器をどれだけ正確に測れるかで検査するからだそうです。

基準器は、もちろん正確な形をしていますよね。

そのため、その形状を狙ってプローブを当てれば、プローブのたわみ等が少なくなり、ある程度性能の高い測定機器であれば、精度の高い値が取れるんだそうです。

ところが、いざ実際の製品を測るときは、機械からすれば予想していない形状の測定となるわけです。

基準器の理想的な形状と比べると、あっちが飛び出ていたりこっちが凹んでいたりするわけです。

もちろん肉眼では気付かないような微小な差でしょうが、なにせ500mmを測定したときの、最大誤差が数μだという世界の話です。

適切な例えか自信はありませんが、私たちが階段の終わりに気付かずに、そのままの勢いで足を踏み下ろすとつまずくように、スタイラスも測定面の変化によって多少たわみます。

そのわずかなたわみなどが、精度を出す妨げとなってくるんだそうです。

その影響を最小限に抑えるのが、アクティブスキャニング技術、ということでした。

 

さて、長くなってしまいましたので、続きはまた次回とさせていただこうと思います。

次回も楽しみにしていただければ幸いです。

 

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