「株式会社東京精密の土浦工場見学会に参加してきました」4

Date:2015/07/17

ジャパンテクノロジーの武田でございます。当ブログをご覧頂きありがとうございます。

今回は、前回に引き続き、クリーンブースやクリーンルームに設置される精密機器として関連性のある株式会社東京精密の土浦工場見学会のレポート「株式会社東京精密の土浦工場見学会に参加してきました」3の続編です。

 

続いて、表面粗さ・輪郭形状測定機について書いていきたいと思います。

 

東京精密さんによると、通常、表面粗さと輪郭形状を同時に測ると、粗さの測定可能な細かさ(分解能といいます)が低下しがちなのですが、プローブ内にそれぞれの測定用にセンサーを二つ入れることで、輪郭形状の計測をしながら表面粗さ測定の分解能を保ちながら、同時に可能にしているとのことでした。

実際に、表面粗さ測定機の測定結果を見せてもらっていたら、断面曲線と粗さ曲線の2つの値が出てきていました。

違いが良く分からなかったのでお聞きすると、実際にワークを測定した数値=断面曲線で、表面の粗さだけでなく、ワークそのもののうねりも含まれている測定値のことを言うのだそうです。

この断面曲線を分析してワーク自体のうねりを除くことで得られるのが、粗さ曲線なのだということでした。

機械の仕組みとしては、ワークを針でなぞり、その針の上下幅をレーザー等で測定しているそうです。

針をどのくらいの力でワークに押し当てるかを、支点を挟んで針がついている棒の反対側についているおもりの位置を動かすことで調節します。

基本となる仕組み自体は意外と原始的なことに驚きました。なお、新製品のSURFCOM NEXは、このおもりの位置調整を自動で行ってくれるとのことでした。

また、原則として左右両方向への測定が可能で、例えば1方向への計測では、ワークの形状などから引っかかりが生じ正確に測定できない場合などでも、ワークを設置しなおすことなく戻り方向で測定することができます。

その結果を合わせて分析することが可能なソフトもありました。

 

真円度測定機については今回は時間不足からサラッとしたものになり、大きく分けてセンサーが動いて測定するタイプと、ワークを回転させて測定するタイプの2種類があり、ワーク回転式は小型のワークを計測するのに向いているとのことでした。小さいものですと測定範囲がφ160mm×高さ160mの新円・柱測定用のもので、卓上サイズのものもあり、ワークを載せる回転テーブルの回転精度の誤差は0.2μm以下とのことでした。

 

さて、まだまだ続きますが、次回にさせていただこうと思います。

長文にお付き合い頂き、ありがとうございます。

次回もよろしくお願いします。

 

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